ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТНОГО ЗАРЯДА НА ФОРМИРОВАНИЕ РЕЛЬЕФА КАРБОНИЗИРОВАННОГО СЛОЯ НА ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИМЕРА ПРИ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКЕ
А.Ю. Беляев, Р.И. Изюмов, А.Л. Свистков
№ 2, с. 88–97 (2023)
A.Yu. Beliaev
Институт механики сплошных сред Уральского отделения РАН – филиал Пермского федерального исследовательского центра Уральского отделения РАН, Пермь, Россия
Вы автор этой статьи? Отправьте запрос в редакцию журнала из личного кабинета. Если редакция подтвердит, что статья ваша, она появится у вас в разделе «Мои статьи».